研究助成・共同研究等

進行中

日本シノプシス合同会社
パナソニックスマートファクトリーソリューションズ株式会社, 2020.11.1-2024.3.31
【分担】低コストな絶縁基板上における高キャリア移動度半導体製膜技術の開発, 科学技術振興機構研究成果展開事業研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) トライアウト JPMJTM20GV, 2020.11.2-2022.3.31
【研究代表】フレキシブル基板上poly-Si TFT作製に関する研究, 公益財団法人天田財団 2018年度奨励研究助成(若手研究者) AF-2018236-C2, 2018.10.1-2021.3.31, \2,000,000
【研究代表】薄膜半導体デバイスの特性向上に関する研究, 公益財団法人琉球大学後援財団平成30年度教育研究奨励事業「国際共同研究の助成」, 2018年度, \200,000
【研究代表】低温形成SiO2膜の特性向上に向けた研究, 公益信託宇流麻学術研究助成基金 (H28年度) , 2016.9.1-2017.3.31, \228,000
【研究代表】プラズマプロセス中の基板温度および表面反応の非接触測定, 平成22年度「琉球大学工学部若手研究者支援･研究コアグループ育成研究費」, 2010年度