岡田研究室 @ 琉球大学工学部 工学科 電子情報通信コース

Okada Laboratory
Electronic and Communication Engineering Program
Faculty of Engineering
University of the Ryukyus

Okada Lab. top

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(研究室内用)

岡田研究室

研究内容

薄膜半導体素子・材料物性の研究

• スパッタ成膜したa-Si薄膜の結晶化
• 急速熱処理時の薄膜および基板の温度解析
• デバイスシミュレータを用いたTFT特性の解析
• ガラスおよびプラスティック基板上へのTFT作成
• InSb薄膜の結晶化

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