実験装置
成膜・プロセス装置
- RFマグネトロンスパッタ (ULVAC, SH-350)
- 抵抗加熱真空蒸着装置 (サンユー電子, SVC-700TM)
- クイックコータ+小型真空排気装置 (サンユー電子, SC-701Mk II ADVANCE + SV-7070)
- 雰囲気ボックス炉 (光洋サーモシステム, KBF442N1-S)
- 赤外線急速熱処理装置 (サーモ理工, IR1000GVS)
- 超純水精製装置 (ADVANTEC, PFU414TA)
- 超音波洗浄機
測定装置
- 紫外可視分光光度計 (日本分光, V-750)
- ホール効果測定装置 (ECOPIA, HMS-3000)
- マニュアルプローバ
- ソースメータ (Keithley, 2400)
- サブフェムトアンペア リモートソースメータ (Keithley, 6430)
- 2チャンネル ソースメータ (Keithley, 2634B)
- 絶縁抵抗計 (Keithley, 6517B)
- LCRメータ (Agilent, E4980A)
- ソーラーシミュレータ (Hong Ming Technology, MFS-PV-Basic)
リソグラフィ装置
- マスクアライナ (ユニオン光学, EMA400)
- スピンコータ
