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Profile
岡田 竜弥(OKADA, Tatsuya)
所属
琉球大学 工学部 電子情報通信コース
学歴
2005.3 広島大学工学部第二類(電気系) 卒業
2007.3 広島大学大学院 先端物質科学研究科 博士課程前期 修了
2009.9 広島大学大学院 先端物質科学研究科 博士課程後期 修了 博士(工学)取得
職歴
日本学術振興会特別研究員(DC1)(2007.4-2009.3)
(研究テーマ「急速熱処理によるシリコン系ナノ結晶の形成プロセス技術の開発およびデバイス応用」)
琉球大学工学部電気電子工学科 助教(2009.4-2017.3 )
琉球大学工学部工学科 電子情報通信コース 助教(工学部改組に伴う所属変更, 2017.4- )
専門分野
半導体工学、薄膜半導体素子
研究テーマ
薄膜半導体物性・素子特性に関する研究
低温形成絶縁膜の特性向上に関する研究
スパッタ成膜したa-Si薄膜の結晶化
急速熱処理中の基板温度の非接触測定および温度解析
低耐熱性基板上へのシリコンナノ結晶形成
所属学会
応用物理学会
電子情報通信学会
The Society for Information Display (SID)
業績
業績リスト
受賞
18th Symposium of MRS Japan (Tokyo, December 7-9, 2007) "Photoluminescence of SiO
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Films Annealed by Millisecond Irradiation of Thermal Plasma Jet"において"Award for Encouragement of Research of Materials Science"受賞
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Copyright (C) 2009-2011 Tatsuya Okada, All rights reserved.
http://www.cc.u-ryukyu.ac.jp/~tokada/